Microplasma source and sterilization

本發明係有關於一種微電漿產生裝置及其滅菌系統，微電漿產生裝置包含一微電漿產生單元，其包括：氣體傳輸腔體，具有第一入口端及第一出口端，第一入口端輸入第一氣體；散熱保護腔體，一側連接第一出口端內壁；介電質內管，具有第二入口端及第二出口端且貫穿散熱保護腔體，第二入口端連通氣體傳輸腔體；電極，設置於第二出口端的外側且位於散熱保護腔體內；以及中空金屬管，設置於氣體傳輸腔體及介電質內管內，中空金屬管具有第三入口端及第三出口端，第三入口端輸入第二氣體。