Abstract
一種磊晶模具及磊晶方法，該磊晶模具適用於使一種第一結晶材料長晶。該第一結晶材料的單位晶格具有一個第一c軸。該第一c軸具有一個第一晶格常數。該磊晶模具包含一個基板，以及一層磊晶層。該磊晶層以一種第二結晶材料製成。該第二結晶材料的單位晶格具有一個第二c軸。該第二c軸具有一個與該第一晶格常數的差異為0%～0.8%的第二晶格常數。該磊晶層設置在該基板上，且包括一個頂面，以及數個分別由該頂面往下凹入且分別界定出一個磊晶孔的孔面。每一個孔面具有一個與該頂面上下間隔的底面部，以及一個連接於該頂面與該底面部間的圍面部。
| Translated title of the contribution | 磊晶模具及磊晶方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I602220 |
| Publication status | Published - 1800 |