Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一种多重气体感?器,包括:一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上,并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构,第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上;第一金??成?于第二磊晶?构上,且第一金??具有至少?种金?;第二金??成?于第二磊晶?构上,并且第二金??与第一金??之?保持一段距离;以及,第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。
Original languageEnglish
Patent number1114001
Publication statusPublished - 2011 Dec 14

Cite this

@misc{632ee7b6b9834102bd9788323b666d63,
title = "Multi-gas sensor and manufacturing method thereof",
abstract = "一种多重气体感?器,包括:一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上,并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构,第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上;第一金??成?于第二磊晶?构上,且第一金??具有至少?种金?;第二金??成?于第二磊晶?构上,并且第二金??与第一金??之?保持一段距离;以及,第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。",
author = "Huey-Ing Chen and Wen-Chau Liu",
year = "2011",
month = "12",
day = "14",
language = "English",
type = "Patent",
note = "1114001",

}

TY - PAT

T1 - Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

AU - Chen, Huey-Ing

AU - Liu, Wen-Chau

PY - 2011/12/14

Y1 - 2011/12/14

N2 - 一种多重气体感?器,包括:一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上,并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构,第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上;第一金??成?于第二磊晶?构上,且第一金??具有至少?种金?;第二金??成?于第二磊晶?构上,并且第二金??与第一金??之?保持一段距离;以及,第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。

AB - 一种多重气体感?器,包括:一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上,并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构,第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上;第一金??成?于第二磊晶?构上,且第一金??具有至少?种金?;第二金??成?于第二磊晶?构上,并且第二金??与第一金??之?保持一段距离;以及,第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。

M3 - Patent

M1 - 1114001

ER -