Abstract
本發明揭示一種氮氧化物感測器及其製造方法，該氮氧化物感測器包含：一磊晶層；一歐姆電極層，成長於該磊晶層上；一蕭特基電極層，成長於該磊晶層上，並鄰接於該歐姆電極層；以及一催化性有機單分子層，包含烷烴雙硫醇分子及催化性金屬，該烷烴雙硫醇分子自組裝排列在該蕭特基電極層上，並具有一頭端結合在該蕭特基電極層，以及一尾端鍵結於該催化性金屬。該氮氧化物感測器對氮氧化物具有高靈敏度及選擇性，並適合於常溫環境下使用，且僅需低溫、低耗能之簡易製程即可進行製作。
| Translated title of the contribution | 氮氧化物感測器及其製造方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I475222 |
| Publication status | Published - 1800 |