OXIDE FILM AND FAST METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Jow-Lay Huang (Inventor), Jen-Sue Chen (Inventor), Jih-Jen Wu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

氧化物薄膜及其快速形成方法。方法包括以下步驟。製備塗料。塗料包括第一前驅物、燃料與溶劑。塗料最快約5分鐘即可製得。將塗料施加至基材上以形成塗層。進行退火步驟,以使塗層變成氧化物薄膜。在製備塗料的過程中或在退火步驟中,燃料會釋放熱能或氣體。
Translated title of the contribution氧化物薄膜及其快速形成方法
Original languageEnglish
Patent numberI419994
Publication statusPublished - 1800

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