Abstract
氧化物薄膜及其快速形成方法。方法包括以下步驟。製備塗料。塗料包括第一前驅物、燃料與溶劑。塗料最快約5分鐘即可製得。將塗料施加至基材上以形成塗層。進行退火步驟,以使塗層變成氧化物薄膜。在製備塗料的過程中或在退火步驟中,燃料會釋放熱能或氣體。
Translated title of the contribution | 氧化物薄膜及其快速形成方法 |
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Original language | English |
Patent number | I419994 |
Publication status | Published - 1800 |