Abstract
本發明為一種光罩的製造方法。步驟包括:提供一基板。於基板上形成複數個微結構,其中各該微結構為一漸縮柱狀結構或一漸縮錐狀結構。提供一液態遮光溶液。於基板上旋轉塗佈、霧化噴塗或澆鑄液態遮光溶液,使基板上形成遮光層。固化該遮光層。
Translated title of the contribution | 光罩以及光罩的製造方法 |
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Original language | English |
Patent number | I559074 |
Publication status | Published - 2016 Mar 16 |