Abstract
本發明為一種光罩的製造方法。步驟包括：提供一基板。於基板上形成複數個微結構，其中各該微結構為一漸縮柱狀結構或一漸縮錐狀結構。提供一液態遮光溶液。於基板上旋轉塗佈、霧化噴塗或澆鑄液態遮光溶液，使基板上形成遮光層。固化該遮光層。
| Translated title of the contribution | 光罩以及光罩的製造方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I559074 |
| Publication status | Published - 2016 Mar 16 |