Abstract
一種光罩的製造方法,其步驟包括:提供可撓性基板。於可撓性基板上形成複數個微結構。於可撓性基板上塗佈遮光材料,使基板形成遮光層。固化遮光層,且遮光層為單一層體。
Translated title of the contribution | 光罩及光罩的製造方法 |
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Original language | English |
Patent number | I592741 |
Publication status | Published - 2016 Jan 1 |
Translated title of the contribution | 光罩及光罩的製造方法 |
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Original language | English |
Patent number | I592741 |
Publication status | Published - 2016 Jan 1 |