PROBE WAFER

Hao-Chih Liu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

一種探針晶圓包括一邊界結構以及複數探針單元。該等探針單元係由邊界結構區分,各探針單元具有複數探針元件。本發明之探針晶圓可於探針的製作上具有相當彈性,並可提高製程良率且降低製作成本。
Translated title of the contribution探針晶圓
Original languageEnglish
Patent numberI484190
Publication statusPublished - 1800

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Liu, H-C. (1800). PROBE WAFER. (Patent No. I484190).