Abstract
本發明是在提供一種可撓性基材圖案轉移製程,係利用導電薄膜層上成形一高分子阻劑層(抗阻層-RESIST)作為前驅板材,以具有導電圖案之模板壓印至高分子阻劑層(抗阻層-RESIST)而進行圖案轉移,之後再接著至可撓性基材上,再將可撓性基材、高分子阻劑層及導電薄膜層三層結構材料在與模板離形後進行蝕刻,最後去除殘餘高分子阻劑層(抗阻層-RESIST)即可在可撓性基材上得到轉移之導電圖案;如此,可避免在傳統熱壓導電圖案轉移製程中,直接加熱可撓性基材以軟化高分子阻劑層(抗阻層-RESIST)而導致可撓性基材受熱變形。
Translated title of the contribution | 低溫可撓性基材圖案轉移製程 |
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Original language | English |
Patent number | 193200 |
Publication status | Published - 1800 |