Abstract
一種全自動化型虛擬量測(Automatic Virtual Metrology；AVM)的伺服器、系?與方法。AVM系統包含有一建模伺服器及多個AVM 伺服器。建模伺服器係用於建置某類型之製程裝置(機台)的首套虛擬量測模型，此組虛擬量測模型包含：虛擬量測推估模型、RI (Reliance Index；信心指標)模型、GSI (Global Similarity Index；整體相似度指標)模型、DQIX (Process Data Quality Index；製程資料品質指標)模型、DQIy (Metrology Data Quality Index；量測資料品質指標)模型。在AVM方法中，建模伺服器亦可將此類型製程裝置的首套虛擬量測模型移植至其他同型製程裝置之AVM伺服器中，接受移植之每一AVM伺服器並可以自動換模(Refresh)方式恢復並維持其虛擬量測模型應有的精度。
| Translated title of the contribution | 全自動化型虛擬量測的伺服器與系統及方法 |
|---|---|
| Original language | English |
| Patent number | I349867 |
| Publication status | Published - 1800 |