SYNTHESIS FOR THIN FILM OF MULTI-COMPONENT METAL OXIDES

Yeong-Her Wang (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

主要揭示一種多元金屬氧化物薄膜之合成製程,以包含第一金屬元素與第二金屬元素之酮醇類合金雙牙基化合物溶液作為溶膠凝膠法之溶膠前驅物,再與包含第三金屬元素之酸類有機金屬鹽溶液混合,由於兩者溶質皆可提供雙牙基,可將溶膠凝膠之聚合反應速度降到極低,以形成較均勻的凝膠,故能製得一種具有平滑、均勻性與非晶相之多元金屬氧化物薄膜,不僅增加溶膠凝膠法前驅物材料之選擇性和多元性,亦具有低成本、製程簡單之優勢。
Translated title of the contribution多元金屬氧化物薄膜之合成
Original languageEnglish
Patent numberI441943
Publication statusPublished - 1800

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