Tungsten oxide film and method for manufacturing the same

Jow-Lay Huang (Inventor), Jen-Sue Chen (Inventor), Jih-Jen Wu (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

氧化鎢薄膜及其形成方法。方法包括以下步驟。製備塗料。塗料包括第一前驅物、燃料與溶劑。第一前驅物包括鎢粉末、硝酸鎢、硫酸鎢、醋酸鎢或上述之組合。燃料包括硫?、尿素、氨基乙酸、檸檬酸或上述之組合。溶劑包括水、雙氧水、酒精、或上述之組合。將塗料施加至基材上以形成塗層。進行退火步驟,以使塗層變成氧化鎢薄膜。
Translated title of the contribution氧化鎢薄膜及其形成方法
Original languageEnglish
Patent numberI405826
Publication statusPublished - 1800

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