VARIABLE RESISTANCE TYPE INSULATION LAYER HAVING A COMPOSITE MATERIAL MATCHING AND ITS APPLICATION IN MICROELECTRONIC COMPONENT

Yeong-Her Wang (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

揭示一種具複合材料配比之可變電阻絕緣層及其微電子元件應用,微電子元件包含一基板以及一在基板上之金屬-絕緣層-金屬結構。金屬-絕緣層-金屬結構之絕緣層係為由無機複合材料組成之溶膠凝膠成膜層,例如鈦酸鎂-鈦酸鈣複合材料,利用溶膠凝膠法製備複合材料並應用於金屬-絕緣體-金屬結構之電阻式記憶體元件中作為絕緣層。該電阻式記憶體元件展現好的電阻轉換特性,此複合材料也可以做為介電層及鈍化層應用在電晶體中,並製成溫度低,且可應用於可撓式裝置上。
Translated title of the contribution具複合材料配比之可變電阻絕緣層及其微電子元件應用
Original languageEnglish
Patent numberI567740
Publication statusPublished - 1800

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