上發光有機元件透明陰極層之研究

Translated title of the thesis: The characteristics of transparent cathode layer of top-emission organic light emitting device
  • 鄧 偉傑

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

近年來隨著顯示器像素(Pixel)尺寸的日益縮減,電晶體所佔有的面積比例就越大,元件發光效率所受的影響也將更甚。上發光型OLED因為不受到下方TFT基板阻隔的影響,理論上能獲得更優異的發光效率,亦有助於增加有機材料的使用壽命,此時位於出光面的透明陰極所扮演的角色將更顯重要。本論文主要即是針對透明陰極進行相關的研究探討。實驗首先選擇含有10 wt %氧化鋅的氧化銦鋅靶材,並利用直流磁控濺鍍的方式於玻璃基板上沉積IZO薄膜;藉由相關製程參數的調整以得到最佳特性的導電薄膜,其製程條件分別是在腔體壓力0 07 Pa、濺鍍?率200 W、所通入的氧氣流量比例為3 3%,當鍍膜厚度為100 nm時,其片電阻值可達38 6 Ω/□,而薄膜的可見光穿透率亦可維持約90%以上的水準。 然而IZO導電膜目前仍不適合直接製備於上發光有機元件之透明陰極上,除了電子注入效率不佳之外,更存有因濺鍍而損傷下層有機材料的疑慮,但若採用薄金屬搭配導電膜此複合結構的方式,不僅可提昇元件整體的發光效率,更可增強金屬陰極對於水氧氣的耐受度。當我們利用100 nm厚度的IZO導電膜搭配7 nm厚度的鎂銀合金,所製備出的上發光有機元件其電流-電壓特性與使用15 nm合金陰極接近。若將鎂銀合金厚度提高至10 nm 的厚度,則其元件在5 V時更可獲得超過6000 cd/m2的最高亮度。
Date of Award2014 Feb 11
Original languageChinese
SupervisorJung-Hua Chou (Supervisor)

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