以光纖陣列為基礎之數位式滾筒模仁製程技術

Abstract

本研究發展一套可以在金屬滾筒上製作出任意圖形光阻微結構的數位式紫外光曝光系統，藉由數位光源處理技術產生數位影像，搭配光纖陣列與微透鏡陣列，完成曲面無光罩式的微影製程技術。首先，以曲面光阻噴塗系統，將光阻稀釋後均勻塗佈在直徑5公分、長度15公分的金屬滾筒模仁上；其次利用波長405 nm的紫外光當作光源，經過「數位微鏡裝置」(Digital Micro-mirror Device，DMD)，以控制每一畫素的亮暗；再將來自DMD的紫外光導入2D光纖陣列內，利用光纖之低傳輸損失、可撓曲、可任意排列的特性，將2D光纖陣列轉換成1D光纖陣列；再利用本實驗室開發的準分子雷射微細加工法，於每一個光纖的出光口處，製作出對應的非球面微透鏡，並將紫外光聚焦成一微小光點，形成直線型的1D光點陣列；最後搭配精密位移平台和伺服馬達轉軸控制，配合DMD的電腦程式控制，可以在滾筒的光阻層上定義出任意的光阻圖案，進而利用化學濕式蝕刻將光阻結構轉移至金屬滾筒上。實驗結果顯示，利用此系統已成?在滾筒模仁上製作出最小線寬20 μm、線增量8 μm、幅寬100 mm之任意光阻結構。

Date of Award	2016 Aug 23
Original language	Chinese
Supervisor	Yung-Chun Lee (Supervisor)