以計算流體力學對潔淨室風扇濾網組配置與不同熱源效應之探討

  • 邱 冠瑋

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

半導體廠房中,均設置各種不同等級的潔淨室,而目前潔淨等級與空調設計,一般均是參照美國聯邦標準(FS-209)規範中的定義為主,其中又以潔淨室等級Class-100的設計最為廣泛;因此,目前國內廠房多以對天花板面積25%的風扇濾網組覆?率,以滿足Class-100的空調需求,但數量龐大的設備已成為廠房初置成本及運轉成本的巨大負擔,因此持續減少風扇濾網組的覆?率,仍是業界持續努力的課題,但如何驗證降低風扇濾網組的覆?率其對潔淨室環境之影響,便是我們本次研究的目標。 本次研究將利用計算流體力學軟體(STAR-CCM+)對不同風扇覆?率的實體廠房中的局部空間進行模擬,以探討降低風扇濾網組覆?率及變更配置對於潔淨室環境溫度、空氣速度向量的影響;因此我們先探討降低風扇覆?率至20%後最佳的設計模型,再依25%、20%兩種不同風扇覆?率的配置,搭配三種不同區域機台熱負載的特性條件,建置於計算模型,模擬整個循環經過的溫度及流場分布,藉此分析不同的風扇設計配置,對於潔淨室機台標準高度平面上流場及溫度變化的影響。 最後經過軟體模擬機台熱負載的影響效應,在1050W等較高?率熱損失的機台特徵條件下,無法滿足標準高度平面22±4 ℃的溫度控制需求,而機台?率熱損失在800W以下之規格時,搭配風扇理想的設計配置,便可以降低覆?率到20%,同時可以滿足溫度控制於22±4 ℃的條件,可有效減少約20%半導體廠房設計的初置成本及運轉能耗。
Date of Award2018 Sep 5
Original languageChinese
SupervisorHeiu-Jou Shaw (Supervisor)

Cite this

以計算流體力學對潔淨室風扇濾網組配置與不同熱源效應之探討
冠瑋, 邱. (Author). 2018 Sep 5

Student thesis: Master's Thesis