本論文提出兼具模組化容量擴充機制之電漿驅動系統，此設計之提出乃有鑑於現有電漿驅動系統並無容量擴充能力，致使無法因應使用場合與空間需求，達成容量調節?能。因此本文整合D類換流器與混合諧振電路為主電源驅動系統，並輔以電漿負載及嵌入昇壓變壓器作為電漿擴充模組單元，整合完成具備容量擴充?能之電漿驅動系統。本文於模組化設計方面，並透過系統諧振電路與擴充模組單元之等效參數分析，嚴謹計算最佳系統諧振參數值，同時利用回授電壓控制與非對稱脈波寬度調變方式，以使整體架構達成穩定驅動與擴充調節電漿生成能力。而為驗證本系統之實際應用可行性，本文經由電路模擬軟體與雛型系統進行實測，測試結果顯示所提架構確實可於擴充模組條件下，有效測得更高產量之電漿濃度，足以證實此驅動系統與模組化擴充設計之搭配可提升應用便利性，同時兼具相關產業之應用參考價值。
| Date of Award | 2016 Jul 26 |
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| Original language | Chinese |
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| Supervisor | Shyh-Jier Huang (Supervisor) |
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兼具模組化容量擴充機制之電漿驅動系統設計及研製
棓仁, 姜. (Author). 2016 Jul 26
Student thesis: Master's Thesis