利用晶格匹配模板成長氮化矽介電層於矽基板上

Translated title of the thesis: Crystalline Matched Template for Silicon Nitride Growth on Silicon Substrate
  • 李 竑均

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本論文主要為利用MBE系統成長晶圓尺寸之超薄單晶氮化矽薄膜(β-Si3N4),並於PECVD成長之非晶氮化矽(a-SiNx)與矽基板Si(111)之間加入超薄單晶氮化矽薄膜,藉由非晶氮化矽薄膜於真空破片(in situ cleaved)之切面(cross section)同步輻射光掃描式光電子能譜的量測,獲得薄膜原子間鍵結及組成資訊,並利用光致螢光光譜(PL)測量,我們發現超薄單晶氮化矽薄膜的加入能有效抑制PECVD成長非晶氮化矽時從矽基板所擴散之矽簇團(Si cluster);並建立矽基板與非晶氮化矽異質接面之能帶結構。
Date of Award2014 Aug 29
Original languageChinese
SupervisorChung-Lin Wu (Supervisor)

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