利用超臨界二氧化碳電鍍法於經熱處理之陽極氧化鋁模板進行奈米孔銅金屬沉積之研究

Translated title of the thesis: Application of supercritical carbon dioxide electrodeposition for copper filling into nano-holes in heat-treated anodic aluminum oxide template
  • 林 德瑋

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本研究以熱處理的方法將陽極氧化鋁模板進行改質以降低其親水後，利用乳化超臨界二化碳電鍍法進行高深寬比奈米孔洞之金屬填充。經過陽極氧化後之鋁模板在860 oC/24h熱處理後，其厚度約為5 ?m，孔洞直徑約為60 nm，深寬比為83左右。銅金屬電鍍填孔是在50 oC、10 MPa的壓力下於含有約40%的乳化超臨界二氧化碳流體及60%硫酸銅水溶液之電解液中進行。電沈積之後，利用掃描式電子顯微鏡(SEM)、穿透式電子顯微鏡(TEM)及能譜散射分析儀(EDS)對試片進行分析。實驗結果顯示：乳化超臨界二氧化碳電鍍法可以在疏水性的高深寬比奈米孔洞中有效進行金屬銅電鍍沉積，優於常壓下之傳統電鍍。
Date of Award2017 Sept 5
Original languageChinese
SupervisorWen-Ta Tsai (Supervisor)

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