利用電漿輔助式分子束磊晶在矽金字塔基板上成長氮化鎵奈米柱壓電奈米發電器

Translated title of the thesis: GaN Nanorod Piezoelectric Nanogenerator Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy with Si Pyramid Substrate
  • 林 君曄

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

奈米壓電發電器(Piezoelectric Nanogenerator)是新穎的發電裝置之一，大多數的奈米壓電發電器是在磨平拋光的矽基板上成長奈米線製作而成，由於奈米線在平的矽基板上無法展現奈米線可彎折的優勢，因此本論文使用矽金字塔基板成長氮化鎵奈米線作為奈米發電器(下稱金字塔奈米發電器)，並且對其壓電性進行探討以及比較。 本論文將介紹氮化鎵奈米線的性質，金字塔基板的製作，氮化鎵奈米發電器的原理，以及金字塔氮化鎵奈米線發電器的製作與量測。最後證實金字塔奈米發電器的效能高於平基板奈米發電器。
Date of Award2015 Sept 7
Original languageChinese
SupervisorChung-Lin Wu (Supervisor)

Cite this

'