半導體廠廢液中Ga回收技術

Translated title of the thesis: Recovery of Ga from Semiconductor Wastewater
  • 劉 秉科

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

半導體為國內經濟發展之主要產業,所排放的工業廢水造成環境汙染之危害為主要來源之一,其中廢水富含鎵的有價金屬,且國內尚無適當回收純化之技術,若隨意拋棄可能造成環境上的二次污染。因此,就經濟價值及環境影響考量,廢液中鎵金屬回收處理為目前資源再利用之重要課題。 本研究以化學沉澱法處理含鎵和矽之半導體磊晶設備清洗之廢液,探討在不同pH值下,其鎵回收率及矽沉澱率之影響。研究結果顯示廢液在沉鎵步驟中,加酸於pH7左右能使鎵與矽同時完全沉澱,沉澱率可達99 8%以上;酸溶鎵步驟中,加酸於pH2時溶液中鎵回收率可達98 4%,而矽沉澱率91 7%,因此鎵與矽之分離有不錯的成效。接著鹼沉鎵步驟,加10N NaOH至中性溶液(從pH=2調整至pH=7),使鎵再次沉澱,沉澱率達99 4%以上,且得到產品鎵粉末,經XRD分析主要相為氧化鎵,因此對於鎵市場可提高其價值,另方面也解決了環境上之問題。
Date of Award2014 Jun 23
Original languageChinese
SupervisorYun-Hwei Shen (Supervisor)

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