半導體廠房廢水處理與回收成本架構與分析

Abstract

高科技產業生產需要用水，伴隨製程技術的提昇，用水水質及需求量提高，為了降低對原水的依賴，可投資回收水系統，而水資源回收及管理需要思考水質、水量與成本的關係。 本研究建立半導體廠房廢水處理與回收成本架構，藉由個案廠房水系統資料，了解水處理與回收系統的運轉模式，分析回收水的成本。水系統分純水、水處理與水回收三大系統，其成本項目有四類購置、操作、改善及排放成本。購置成本細分為系統折舊與自來水成本，操作成本細分為電力、人力、物料與維護保養，排放成本分廢水與污泥排放。 分析結果顯示，純水系統佔總成本40%，其次是水處理系統的37 5%，和水回收系統的22 5%。四類成本中操作成本最高，佔總成本的63~68%，最少的是資本折舊，只佔5%。而純水、水處理與水回收系統的運轉單價分別是18 42、21 81、8 61元/m3。 使廢水排放達到管理局的排放標準，是投資水處理系統的目的。經分析管理局的三個主要水質要求：化學需氧?、懸浮固體和氨氮濃度，其中調整懸浮固體的數值以達標準

Date of Award	2014 Aug 4
Original language	Chinese
Supervisor	Andrew S. Chang (Supervisor)