半導體廠房水資源整合與環境績效指標

Abstract

水資源議題愈來愈重要，國內高科技廠近年陸續投入人力與技術，希望提高水資源使用效率例如提高水回收率，減少對自來水的依賴。然而科學園區目前只規定製程回收率、全廠回收率、全廠排放率三個水量指標，及廠房排放廢水水質標準。此等要求對於公司及廠房的管理有所不足，不能代表整體的用水成效或環境績效。如何整體考量水資源，利用製程回收水並有效管理，是一重要課題。 本研究探討半導體廠房水資源整合與環境績效指標，分析廠房用水，考量自來水、製程廢水、回收水、排放污水等，提出水資源使用整合方向，訂定相關環境績效指標，衡量水資源整合績效，使水資源使用更有效率。 水資源績效架構包括輸入、製程用水、次級用水、輸出四部分，共19個指標，其中水量指標有13個。研究發現廠房輸入、輸出端的水量指標如自來水量和總排放廢水量，和產能直接相關，可用L/cm2為單位，較易和相關規範或其他廠房比較績效。其餘指標和水系統操作、技術較相關，因此不同廠房會有差異，例如製程回收率、純水系統造水率，可和自來水量或其他用水量相比，以百分比為單位。 水質指標有6個，直接關係著良率和回收水多寡與水質者為重點，例如超純水、廢水處理水質指標。本研究找出其重要的水質項目，分析效益並給分，但像超純水水質，花更多成本使水質項目超過標準並無實質效益，因此只須符合標準即可。水量、水質指標依其節水量大小、重要性、有無相關規定要求等給予不同權重，彙總得整體指標分數為90、87分，兩者平均為89分，因此案例半導體廠整體水資源使用績效佳。 本研究依不同類別，發展出更多水環境指標，並探討各指標間關聯，組成參數的合理性及半導體廠房平均績效應為多少，以較完整的評估各用水單元的績效。然而由於資料收集不易，某些指標在評分標準可再精進。

Date of Award	2014 Aug 28
Original language	Chinese
Supervisor	Andrew S. Chang (Supervisor)