可處理隨機量測時延之混合式批次間控制器設計

Translated title of the thesis: Design of Hybrid Run-to-Run Controllers Subject to Stochastic Metrology Delay
  • 羅 鈞

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

在半導體產業中,EWMA及double EWMA批次間控制器對於固定的量測時延有相當良好的控制效果。然而價格昂貴的量測設備和耗時的量測,會使得量測時延產生不確定性及隨機性。針對隨機量測時延的問題,本論文提出三種以內模控制架構為依據之混合式批次間控制器,並發展控制器的最佳設計方法。 批次間控制器常需處理多種形式之確定性與隨機性擾動,兩者會導致製程輸出偏離目標值和持續性隨機變動。本論文引入一隨機變數來描述量測時延,並建立隨機控制系統之擴增狀態及狀態空間模型,以分析與確定性擾動相關之暫態性能、與隨機性擾動相關之長期性能及控制系統的強健穩定性。本論文所提之混合式批次間控制器分別使用一階和二階內模控制濾波器來預測含偏移和含漂移的擾動。暫態和長期性能指標被結合為權衡性能指標,作為選擇濾波器參數的標準。為了在指定強健性限制下達成最佳控制,本論文推導出前述性能指標及隨機控制系統穩定性之閉合公式,可在隨機時延期望值介於0和1之間時,獲得滿意之濾波器參數設計。
Date of Award2016 Jul 12
Original languageChinese
SupervisorShyh-Hong Hwang (Supervisor)

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