單拍陰影疊紋表面形貌量測系統之研發

Translated title of the thesis: Development of a One-Shot Shadow Moir? System for Surface Profile Measurement
  • 程 法彥

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本文將光流法及螺旋正交轉換應用於陰影疊紋法中,設計一套能動態量測的單拍陰影疊紋表面形貌量測系統,其架設是將傳統相位移法中的設置更改為兩組不同色的光源,利用彩色相機擷取兩組不同顏色的條紋圖,再利用光流法及螺旋正交轉換計算出相位差90度的條紋圖,進而計算條紋相位,經由相位展開法得到相位值,最後得到試件的表面形貌。本文分為模擬與實驗兩個部分,在模擬部分利用陰影疊紋法理論探討兩組疊紋圖的相位差與燈源位置的關係,進而訂定系統量測的最大高度限制並提出超過最大高度限制時的解決方案,當超過最大高度限制時條紋方向角會差180度,將超出位置條紋方向角補上180度則能解決該問題,再利用模擬多種表面形貌在三組不同光源入射角的光源組合的量測結果,藉此決定出最適合的光源入射角為45度,實驗部分則是比較兩種能減少不同光源的光強影響的影像處理方法,並與SMS粗度儀量測比較本系統的準確性,平均誤差為6 1μm,誤差標準差5 1μm。
Date of Award2018 Oct 12
Original languageChinese
SupervisorTerry Yuan-Fang Chen (Supervisor)

Cite this

單拍陰影疊紋表面形貌量測系統之研發
法彥, 程. (Author). 2018 Oct 12

Student thesis: Master's Thesis