基於模型預測控制法於精密追跡之實現與驗證-以原子力顯微鏡為例

Translated title of the thesis: The Implementation and Verification of Model Predictive Control for Precision Tracking- an Example with the AFM
  • 梁 能凱

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本研究以原子力顯微鏡為例，以模型預測控制器來達成精密追跡的目標，並獲得最佳化輸入。透過控制原子力顯微鏡的 z 軸致動器來追蹤樣品形貌。此外，藉由Microsoft Foundation Class(MFC)軟體設計之圖形使用者介面(GUI)與原子力顯微鏡整合，並利用實時資料交換(Real Time Data eXchange RTDX)實現主/從處理器間的資料傳輸，使系統的操作上更為簡便如直接。實驗結果顯示，設計之控制器可達到精確地追蹤樣品形貌，且 兼顧性能與輸入的最佳化控制。
Date of Award2015 Jul 15
Original languageChinese
SupervisorSzu-Chi Tien (Supervisor)

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