基板轉移水熱法成長之類單晶氧化鋅薄膜及其於垂直結構紫外光檢測器之應用研究

Translated title of the thesis: Transfer of Hydrothermal Growth Quasi-monocrystalline ZnO Films for Vertical Ultraviolet Photodetectors
  • 吳 乃聖

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本?文之研究主題係藉水熱法(hydrothermal growth HTG)成長高品質之類單晶氧化鋅(Zinc oxide ZnO)薄膜並進行垂直結構紫外光檢測器應用。利用本研究所開發n型類單晶ZnO薄膜與p型半導體材?氧化銅(Cuprous oxide CuO)所得之異質p-n接面二極體，因具備寬能隙半導體材料之特性，極適合應用於紫外光感測器。為改善傳統水平式結構之ZnO紫外光感測器的缺點，如電流傳導路徑較長與嚴重之電流擁擠效應，本研究開發一種結合電鍍法製備金屬基板及超音波震盪機械式剝離之轉移基板技術，成?製備出垂直結構類單晶ZnO基紫外光檢測器。與現行紫外光感測器之製程相比，本研究方法具低溫製程(
Date of Award2017 Aug 7
Original languageChinese
SupervisorShui-Jinn Wang (Supervisor)

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