多孔型陽極氧化鋁製作與濕度感測器應用之研究

  • 許 偉傑

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本文所推廣之複合式脈衝陽極氧化(Hybrid Pulse Anodization,HPA)技術的目的為抑制過多的焦耳熱的累積 ,並在較高的製程溫度與較高陽極氧化電壓中製備奈米多孔型陽極氧化鋁(Anodic Aluminum Oxide,AAO)模板。另外,以AAO製備成濕度感測器,並透過各式方法來增強該AAO的敏感度。本文以鋁薄片(Aluminum Foil)進行陽極氧化處理,而該氧化鋁在經過電場輔助的陽極氧化製程後,可以形成更厚的氧化鋁層,並產生規則排列的孔洞結構,其孔洞通道有極佳的垂直性。因此本實驗即選著了在草酸電解液中,針對各種陽極氧化條件,如:施加模式、較高正電壓、電解液溫度與擴孔時間下製備100 nm左右之陽極氧化鋁。再以場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)觀察AAO孔洞形貌,並使用ImageJ和WSxM等軟體去分析AAO孔洞表面形貌的SEM影像,加以探討當改變製程參數會有何影響並且量化之。另外,在AAO表面鍍上Pt薄膜作為電極,再透過不同的相對濕度來量測該感測器之電容值與電阻值。同時以磁場、濃度與電壓等來增強該感測器之整體敏感度。 本實驗成?的以HPA在室溫下(25oC)且較高電壓與較短的時間下製備出高規則排列之AAO模板,讓整體製程更為節省與有效益。而在AAO的應用部分,各式的方法都可大幅的提升濕度感測器之敏感度,解決了AAO濕度感測器在低濕度條件下缺乏敏感度之問題。
Date of Award2014 Aug 4
Original languageChinese
SupervisorChen-Kuei Chung (Supervisor)

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多孔型陽極氧化鋁製作與濕度感測器應用之研究
偉傑, 許. (Author). 2014 Aug 4

Student thesis: Master's Thesis