奈米壓印高深寬比軟模及電子束微影製作週期性楔形結構並應用於液晶配向

Translated title of the thesis: Periodically wedge structures fabricated by nano-imprint high aspect ratio soft stamp and E-beam lithography and its application to liquid crystal alignments
  • 張 緯

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

以往有?多研究利用奈米壓印微影技術(Nanoimprint Lithography)製作週期性矩形溝槽結構,並對液晶分子進行配向,但矩形溝槽結構無法使配向的液晶分子具有預傾角條件,以致於在電壓操作下產生液晶分子方向分佈之不連續性缺陷,如錯向線。 本實驗利用奈米壓印微影技術,製作高深寬比軟模並利用其壓印挫曲(Buckling)的特性,產生週期性楔形溝槽結構,在所製作結構之表面塗佈monoglycidyl ether-terminated PDMS或垂直配向聚醯亞胺(Polyimide)等兩種材料,觀察其對負型向列型液晶的垂直配向效果。相較於週期性矩形結構對液晶的配向效果,週期性楔形結構已大幅地減少錯向線的發生。另外,我們也利用電子束微影製作不同週期和高度的楔形結構用於液晶配向,其定性結果顯示當結構的週期變小或是高度變高時,對施加電壓的垂直排列負型液晶盒,液晶分子方向很容易沿著溝槽方向排列,這趨勢與Berreman的溝槽配向理論是一致的。
Date of Award2014 Sep 9
Original languageChinese
SupervisorChun-Hung Lin (Supervisor)

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