形貌改良的單晶二矽化鐵和矽化鐵奈米線之製備與特性量測

Translated title of the thesis: Synthesis and properties of morphology-improved single crystalline FeSi and β-FeSi2 nanowires
  • 黃 韋傑

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本論文之研究方向是以化學氣相沉積法來製備FeSi和β-FeSi2奈米線並探討其生長機制及成長參數對形貌之影響,另外提出兩種方法做為奈米線之形貌改良,並對形貌改良前後之奈米線做性質比較。 在成長參數的部分,本實驗分別以溫度與持溫時間,流量和沉積位置,以及壓力三部份來探討。發現實驗溫度從750℃開始上升至850℃時β-FeSi2有奈米線之生成,但是到了950℃即有團塊化的行為,其原因為奈米線生長到後期互相反應的結果。在流量和沉積位置則是以氧化鋁基板在不同的流量和位置上進行沉積,用EDX分析基板上的反應物訊號來確定反應物濃度分佈。在不同壓力的實驗則是利用CS(Covered-substrate)的方法來分析高壓下奈米線線徑增加的原因,並在高溫高壓的環境下成長出FeSi奈米線。 形貌改良則是以Pre-Deposition和Covered-substrate來對奈米線進行形貌改良,以不使用催化劑或是模板的方式,單純控制成長參數來成長奈米線陣列,最後分別比較改良前後奈米線之磁性以及場發射性質。
Date of Award2014 Aug 27
Original languageChinese
SupervisorKuo-Chang Lu (Supervisor)

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