應用於3 kW射頻電漿電源E類換流器之研製

Translated title of the thesis: Study and Implement of 3 kW Class-E Inverter for RF Plasma Power Supply
  • 賴 翰穎

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本論文所分析與研製之3 kW射頻電漿電源主要分成三部分。第一部分為使系統之市電輸入電流具高?率因數維持電力品質，本系統前級使用?率因數修正器，其架構採用交錯式升壓型轉換器。第二部分為了控制射頻交流輸出?率，提供射頻換流器輸入端一大範圍穩定直流電壓源(30 V ~ 300 V)，因此使用全橋相移式直流/直流轉換器。第三部分為將直流電壓轉換為射頻交流輸出，本論文使用E類換流器架構。 本文先針對?率因數修正器之模式作分析，並選出最合適之?率因數修正器，再對全橋相移式直流/直流轉換器作分析，控制其相移角度使其有大範圍之輸出直流電壓，最後分析E類換流器之開關應力及輸出電流相移角之關係，使其能降低因高頻切換所造成之開關切換損。
Date of Award2016 Mar 11
Original languageChinese
SupervisorTsorng-Juu Liang (Supervisor)

Cite this

'