應用馬氏-田口系統建構機台健康指標-以半導體封裝研磨製程為例

Translated title of the thesis: Utilizing the Mahalanobis-Taguchi System to Building Machine Health Index - With a Case of Wafer Grinding Process in Semiconductor Assembly
  • 李 翊禎

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

根據德國工業4 0報告,未來智慧工廠於各個生產環節過程中需蒐集大量資料,並將其結合為一物聯網,以期機器設備皆具有獨立自主能力,自動完成生產線操作,而設備間透過互相溝通即時監控週遭環境,自動偵出問題並通知人員處理。為確保作業品質,產業間設備不斷地往自動化發展並加入大量感知器,除降低人員作業可能風險,並可隨時偵測機台狀態。隨著自動化程度愈高,異常停機會導致連續性機台停機,因此機台即時健康監控系統於自動化導入後是必需的,若未能於機台發生異常前提早預警並立即派人修復,可能會導致更嚴重品質風險。以半導體封裝產業設備,透過SECS/GEM讓主機與機台溝通,並要求機台內部資訊拋出,以將資料集中彙整分析。由於機台狀態特徵眾多,因此利用馬氏-田口系統(Mahalanobis-Taguchi System MTS)篩選關鍵機台狀態特徵,刪除不必要及多餘的機台狀態特徵,以增加作業效率及降低分析成本;再合併計算移動變異數/共變異數矩陣之行列式值,並代入指數加權平均管制圖(EWMA)及換算機台健康分數,供工程人員判斷機台健康狀況之依據。本研究重點結論為:(1)減少33 33%機台狀態特徵數量,從24個降為15~16個,降低資料分析成本及增加處理效率;(2)利用移動變異數可以消除不同機台製造程式差異;(3)提供管理者及工程師較簡易的方式即時了解機台狀態。
Date of Award2017 Jul 13
Original languageChinese
SupervisorYu-Chin Chang (Supervisor)

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應用馬氏-田口系統建構機台健康指標-以半導體封裝研磨製程為例
翊禎, 李. (Author). 2017 Jul 13

Student thesis: Master's Thesis