探討原子序對穿透式背向散射電子繞射技術之空間解析度的影響

Abstract

本論文將探討原子序對穿透式背向散射電子繞射之X軸、Y軸與Z軸空間解析度的影響。以銀與鋁雙晶(bicrystal)試片，結合數位影像相關係數法進行空間解析度的量測。最後將兩者之空間解析度的結果與本實驗室的先前研究成果進行比較，包含與銅的穿透式EBSD空間解析度的比較以及銀、銅與鋁的穿透式與傳統式EBSD之空間解析度的比較。 由實驗所得對於銀在工作距離12 mm、試片傾斜50°、加速電壓30 kV以及試片厚度100 nm時，可得到最佳的X軸、Y軸與Z軸空間解析度，分別為18 9 nm、33 7 nm與22 7 nm；對於鋁則是在工作距離12 mm、試片傾斜60°、加速電壓15 kV以及試片厚度100 nm時，可得到最佳的X軸、Y軸與Z軸空間解析度，分別為22 8nm、36 6 nm與34 7 nm。 與純銅的穿透式EBSD空間解析度比較結果顯示，對於三種材料空間解析度皆隨著試片厚度減少而提升。對於較輕原子量的元素(如:鋁)，空間解析度隨著電壓由30kV下降至15kV而提升；較重原子(如:銅與銀)，空間解析度則是隨著電壓由15kV增加至30kV而提升。穿透式與傳統式EBSD空間解析度比較結果顯示，對於銅與銀在較高加速電壓20 kV ~ 30 kV下，穿透式EBSD空間解析度會優於傳統式EBSD；對於鋁則是在加速電壓10 kV ~ 30 kV範圍內，穿透式EBSD空間解析度皆會優於傳統式EBSD。

Date of Award	2017 Jul 25
Original language	Chinese
Supervisor	Jui-Chao Kuo (Supervisor)