探討超疏水及超親水性質之轉換:具有黑矽結構或圓柱結構之PDMS表面

Translated title of the thesis: Investigation of switching between superhydrophobicity and superhydrophilicity:polydimethyl siloxane surface with black silicon structure or micropillars
  • 賴 盈娟

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

  超疏水表面一直是大家所熟悉且被廣泛研究的課題,本研究利用誘導感應偶和電漿離子蝕刻在矽晶圓表面形成黑矽結構(Black silicon),再以旋轉塗佈法及PDMS翻模複製法來製備基板。另外我們亦利用CNC微鑽法及PDMS蝕刻法來製備超疏水表面,超親水性質則以氧氣電漿製程得到,再加以探討其超疏/親水表面性質轉換的情形。   由實驗結果顯示,旋轉塗佈PDMS的製備方法所得到的結果為大部份的微針結構皆被PDMS覆?住,無法有效得到一超疏水表面;而使用PDMS翻模複製法,即可得到接觸角大於150?的超疏水表面。另外,具備PDMS圓柱陣列之表面亦可呈現超疏水的性質。在超親水及超疏水的性質轉換上,當PDMS黑矽表面經氧電漿改質後,再靜置180℃烘箱,可經4小時成?使超親水表面回復為超疏水表面。而PDMS圓柱陣列表面,在180℃下,30分鐘內則可使超親水表面回復成超疏水。
Date of Award2014 Jul 1
Original languageChinese
SupervisorYi-Je Juang (Supervisor)

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