改善排程系統以提升半導體機台酸液使用效率

Abstract

積體電路製造是資本密集、技術密集的產業，在半導體生產中，因為有著?多不同製程，以半導體生產製程分別有擴散、黃光、薄膜、研磨、蝕刻、植入六大步驟，生產過生會在這六種製程機台中交錯進機，進而生成整個積體電路的電路系統製程，因此工廠內每部機台在半導體生產流程中均有其特定?能，並且依據?能使用大量不同具危險性之酸性化學藥劑。為了減少人為操作失誤與提升機台生產率，工廠會透過排程系統來估算產品進機時間，選擇正確?能的機台，及減少產線機台等待來提升產能。而目前大部分的排程系統皆以機台及產品的一般資訊作為排程依據，無法在第一時間使用精確的機台酸性化學溶液資訊，導致機台換酸排程精確度低，時常需透過人為介入處理，藉由工程師個人經驗作判斷，執行更換酸性化學溶液的動作，但有時會造成錯誤判斷，導致產品延誤進機，甚而報廢，且亦增加人為工作量，並將工廠與人員暴露在風險之下。 本研究將對半導體工廠製造流程進行改善，以半導體生產流程中其一流程進行改善，該生產流程使用之機台作業主要為晶圓清洗為主要目的，是以二十五片為一批次或單一晶圓片，藉由化學藥品與超純水浸泡或沖洗?去除髒污與雜質，主要作用是清除晶圓片上的污染物，例如微塵?(Particle)、有機物(Organic)、無機物、?屬?子(Metal -Ions)等雜質，研究利用數據挖掘應用在排程系統上，分佈式處理各產線數據，從數據中提取知識的方法和實踐的指南，利用數據分析技術的輸出，做為決策產線生產流程，並將虛擬排程系統與實際產線機台狀態連接起來，可靠，安全，穩定，高效地運行。利用排程系統作為改善的工具，透過轉換演算更改機台狀態，提升生產效率，並且在不影響生產上，維持一定的品質，降低酸液的生產成本，避免人為介入產生的突發事件。 研究實驗主要分為五大因素 機台(Equipment)、製程、貨(Wafer)、人、排程系統 思考各項因素條件限制 利用數據計算，撰寫轉換演算，配合排程系統 提高工廠生產效益與減少人力與降低成本 而更往工業4 0、工廠無人化邁進。

Date of Award	2018 Sept 7
Original language	Chinese
Supervisor	Tzone-I Wang (Supervisor)