新型射頻?率阻抗匹配狀態偵測電路於電漿設備用阻抗匹配器之研究

Translated title of the thesis: Study on New RF Power Matching State Detector of Impedance Matching Box for Plasma Chamber
  • 杜 育姍

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本論文旨在研究用於電漿製程之射頻阻抗匹配器,藉由偵測射頻電源端之輸入阻抗是否達匹配情況,進?其?率匹配狀態偵測電路設計。文中提出偵測頻率為13 56MHz的?率偵測電路係以輸出阻抗50歐姆為匹配情況作設計,依數位式阻抗匹配器其電控流程於匹配狀態所需偵測資訊,將射頻?率偵測機制分為前端?率擷取電路、振幅偵測、相位偵測、反射?率偵測電路。?率擷取電路係以比流器及分壓電路實現;振幅偵測部份,本文提出三種偵幅偵測電路架構,最後採用單端式?率偵測器;相位偵測係用高速比較器與數位邏輯判斷電路組成,最後以VSWR概念的雙定向耦合器橋式架構作反射?率偵測電路設計。經實驗測試,所設計之電路可確實達射頻電壓及電流訊號之振幅峰值偵測、其相位差及相位領先及落後判斷及系統反射?率偵測之?能,最後將射頻訊號資訊轉成直流電壓訊號作A/D轉換,以提供數位式射頻阻抗匹配器MCU的輸入?率匹配資訊,作為調整匹配網絡依據,以避免反射?率的發生。
Date of Award2015 Jul 20
Original languageChinese
SupervisorJia-You Lee (Supervisor)

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