氣動式平板抬昇器流場數值模擬

Translated title of the thesis: Numerical Flow Simulation of a Pneumatic Flat-Plate Lifting Device
  • 魏 伯融

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本論文以計算流體力學商用軟體為工具,模擬氣動式無接觸平板抬昇器之流場,探討出風口的形狀、分佈、出風口氣流下傾角度等因素對平板所獲得升力之影響,最後提出一種離散化出風口設計,?能足以抬昇重達0 53N的晶圓,並設計自動防撞機制。
Date of Award2017 Jul 24
Original languageChinese
SupervisorDartzi Pan (Supervisor)

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