液相成長三氧化二鋁薄膜對矽基板載子生命週期之探討

Translated title of the thesis: Investigation of carrier lifetime for Al2O3 thin films on silicon by liquid phase deposition
  • 劉 峻銘

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

表面鈍化技術於高效率太陽能電池製程上為不可或缺的一環。近年來研究指出,氧化鋁於矽基太陽能電池之P型側鈍化上表現亮眼,歸?於氧化鋁與矽基板介面上具備負電荷性質造成之場效鈍化,可阻退少數載子接近材料表面,降低載子於表面受懸浮鍵再結合之機率,此外氧化鋁之化學鈍化性質亦不容小覷,因此該材料具備極大的潛力於鈍化製程上。 本研究致力於以非真空水溶液系統沉積高品質氧化鋁鈍化薄膜,取代現今廣為使用之真空鍍膜系統,已達到製程簡化、設備便宜等需求。實驗結果指出沉積溫度30℃下,磁石轉速500rpm沉積1小時後並以去離子水清洗,具備較佳之基板表面鈍化性質。熱退火製程上,氮氣環境以550℃退火處理40分鍾,除了幫助沉積之氧化鋁薄膜有效鍵結鈍化懸浮鍵,也能活化氧化鋁負電荷累積。 另外採用產業界經常使用的鈍化氣體氫氣,作為退火氣氛之摻雜氣體,藉以填補未被鍵結之懸浮鍵,觀察鈍化效果提升程度。最後期?將以上製程最佳參數穩定應用到大面積之基板,得到液相沉積氧化鋁鈍化薄膜製程,具有幫助太陽能電池提升效率之結果。
Date of Award2014 Jul 31
Original languageChinese
SupervisorTse-Ming Hong (Supervisor)

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