混合式批次間控制器設計:不確定時延及複合性能指標相關議題

Translated title of the thesis: Design of Hybrid Run-to-Run Controllers: Issues on Uncertain Delays and Composite Performance Indices
  • 王 信淳

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

批次間程序常見於半導體製造業,可表示為一線性迴歸式,其中截距項與斜率項分別代表輸出擾動與時變程序增益。本論文針對這兩種擾動的排除,提出分別以內模與類內模控制架構為依據之強健控制器設計,在滿足H無窮範數和時延邊限的指定強健性條件下,獲得最佳的批次間操作性能。 半導體製程中常發生確定性斜坡漂移擾動和IMA(1 1)形式之隨機性擾動,兩者會分別造成程序輸出的暫態偏差和持續隨機變化。為了評估其對控制性能的影響,本論文推導出暫態性能指標及長期性能指標之閉合公式,並以兩指標乘以加權值產生之複合性能指標,作為控制器參數選擇的標準。加權值的選擇是用來權衡確定性和隨機性擾動對輸出的不同影響。 批次間程序之量測時延具有不確定性與隨機性,因此含固定時延之控制器難以獲得良好的控制效果。本論文發展出混合式批次間控制器設計,藉由指定適當強健性和交替使用含不同時延的兩種濾波器,可在隨機時延發生時達到極佳的控制性能。
Date of Award2014 Aug 5
Original languageChinese
SupervisorShyh-Hong Hwang (Supervisor)

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