積層合金?率電感中Fe-Si-Cr合金粉末與內電極Ag共燒反應之研究

Translated title of the thesis: Chemical reaction between Fe-Si-Cr alloy powder and inner electrode Ag during co-firing for multilayer alloy power inductors
  • 蔣 欣芸

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

本研究利用多?能X光薄膜繞射儀、穿透式電子顯微鏡(TEM)與掃描式電子顯微鏡(SEM)等儀器,研究積層合金?率電感中Fe-Si-Cr合金粉末與內電極Ag於共燒過程中之反應。實驗結果顯示,在含有O2之大氣環境下熱處理,O2不僅會促使Ag揮發並擴散,導致印刷之線路不連續甚至斷線,更會與Ag以及同樣易揮發之Fe-Si-Cr熱氧化層-Cr2O3,以氣相反應生成大量片狀AgCrO2 (silver chromite),由於此物質為一種p-type半導體,生成此結晶相會消耗Ag與Cr2O3,最後將導致絕緣電阻不足與崩潰電壓下降等問題。 此外,本研究亦設計實驗以探討片狀AgCrO2之生成機制,研究發現,在熱處理過程中,當溫度低於650 ℃時,Ag與Cr2O3會先反應生成Ag2CrO4 (silver chromate) ,因Ag2CrO4之熔點(658 ℃)低於熱處理溫度(750 ℃),故在超過658 ℃後,Ag2CrO4容易揮發並沿著粉末間的孔隙移動,與同樣易揮發之Cr2O3藉由氣相反應在粉末間孔隙,甚至擴散至樣品表面,生成大量的六角片狀物AgCrO2,而AgCrO2會在超過800 ℃之後分解為Ag與Cr2O3。
Date of Award2018 Jun 14
Original languageChinese
SupervisorHsing-I Hsiang (Supervisor)

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