蝕刻製程技術開發之最佳策略

Translated title of the thesis: Optimal Strategy of Etching Process Technique Development
  • 吳 滙千

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

一個現代化的生產工廠,面對的是產能,良率,成本,人員訓練,安全,社會責任…種種面向上的不同要求,有部分要求之間殊途同歸,有的要求卻可能背道而馳互不相關。例如環保與成本很多時候會有所衝突,但環保與安全有可能可以通過類似的努力而一舉數得。惟其共同點都是希望透過最有效率的生產模式、合理分配資源,來幫助公司或者品牌獲利,穩定中發展。在這樣的前提下,個人經驗與能力在決策時的品質備受考驗。透過更多在特定領域的專長人士所做的群體決策,或?具有更完整的判斷與包容性,然而,如何能讓參與決策的群體,在同樣的標準下客觀地給出自己的評分,對於同樣的認同給予一致的分數,這部分的挑戰就是在本篇論文裡試圖運用層級分析方法來幫助改善決策品質的地方。 本研究以案例公司在開發其蝕刻製程為著眼點,藉由訪談的方式,逐一找出蝕刻製程需要考量的準則項目,準則該如何定義,如何評價,接著邀請對蝕刻製程開發有經驗的專業人員,針對主要準則、次要準則進行專家問卷,透過expert choice 軟體計算準則權重。最終決定評分時,經由主觀評分(專家問卷)與客觀數據(生產數據)給定各個不同準則的分數。透過專案團隊,成員包含有製程、生產、廠務、機械工程等單位同仁反覆確認與討論,最終訂定「基板表面品質」、「廢棄物污染度」、「建置成本」、「人體工學安全度」與「產出速度」等五大構面及14項次要準則,經由專家訪談的方式,求得評估準則之權重重要性由高到低依序為:「人體工學安全度」:0 494、「基板表面品質」:0 233、「產出速度」:0 156、「廢棄物污染度」:0 069、「建置成本」:0 049。結合主、客觀數據與權重,最終計算出濕式蝕刻略高於乾式蝕刻製程法,以此提出作為該蝕刻方案之建議參考。
Date of Award2016 Sep 7
Original languageChinese
SupervisorLi-Hsing Shih (Supervisor)

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