運用TRIZ改善氧化銦錫薄膜製程 提升直流式真空濺鍍機台能力

  • 郭 全興

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

面對台灣面板廠商面臨全球顯示器持續成長,帶動次世代面板廠商持續投入在新工廠設備,也讓原本的舊世代工廠需面臨高階製程產品導入與轉型,因此如何提升製程能力及提升舊機台能力就變的非常重要。 本研究提出運用萃智理論的矛盾理論,推論找出解決工廠在高階面板氧化銦錫薄膜製程不良造成的客訴問題,定義製程改善?數與惡化參數,之後再以40項創新原則求解,已達到直流式真空濺鍍最佳化的機台工程參數降低氧化銦錫薄膜破裂不良率,並重複運用萃智理論創新思維提升改造直流式真空濺鍍機台能力,已增加工廠的競爭力。 期望藉由萃智研究方法透過改善氧化銦錫薄膜真空製程能力,協助同樣面臨工廠轉型過程中,有效率縮短製程工程師對應問題時獨立求解能力,能更有效率的決解生產中面臨的工程問題,未來相信以此方法持續進行改善,不管是新產品開發或機台改造都能想出創新方法解決,只有不斷的精進提升能力保持彈性的經營模式,公司才能持續成長。
Date of Award2015 Jun 22
Original languageChinese
SupervisorHeiu-Jou Shaw (Supervisor)

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運用TRIZ改善氧化銦錫薄膜製程 提升直流式真空濺鍍機台能力
全興, 郭. (Author). 2015 Jun 22

Student thesis: Master's Thesis