運用TRIZ理論提升廢硫酸回收效率

Abstract

半導體產業因為電子產品的應用層面變廣，使得市場需求增加，故吸引了?多企業投入資源以求獲利。而台灣的半導體業者為了維持在半導體產業的競爭力，除了建置廠房提升產能外，也投入大筆研發經費進行製程技術的提升，惟由於半導體產業屬於高污染、高耗能產業，因此也對環境造成不良的影響。 半導體製程使用諸多化學藥劑，諸如硫酸、磷酸、氫氟酸……等，而在薄膜製程、擴散製程、黃光製程與蝕刻製程皆會使用化學藥劑，排放後由廠房進行委外清運或者排放至廢水廠進行處理後放流。本研究為廠內製程技術的提升，造成廢硫酸用量上升，而廢硫酸為廠內委外清運數量最多的廢棄物，故以廢硫酸廢棄物減量作為改善標的，運用萃智的技術矛盾，擬訂廢硫酸回收再利用之方案，期望提升廢硫酸回收效率。 本研究將廠內清運量最大宗的廢硫酸，導入廢硫酸回收機制之後，使得廠內清運廢硫酸的車次，由平均每月18車減量為平均每月6車，平均每月減少清運廢硫酸12車，減少清運車次高達66%。達到企業永續經營、資源妥善利用以及產業與環境共存之效益。

Date of Award	2018 May 31
Original language	Chinese
Supervisor	Heiu-Jou Shaw (Supervisor)