針對具馬可夫性質量測時延之最佳切換式批次間控制設計

Translated title of the thesis: Optimal Design of Switched Run-to-Run Control Subject to Metrology Delay with Markov Property
  • 鄭 逸弘

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

半導體製程中,EWMA與double EWMA批次間控制器對於固定的量測時延具有良好的控制效果,但由於量測設備的昂貴和量測耗時,量測時延容易產生不確定性與隨機性,因而使得控制效果變差。本論文針對具馬可夫性質之隨機量測時延,提出兩種切換式批次間控制器和三種含單一濾波器之傳統批次間控制器,並相互比較以找出最佳控制器設計。 批次間控制器常需處理漂移式確定性擾動及ARMA(1 1)模型所描述之隨機性擾動,前者會使程序輸出偏離設定之目標值,而後者會使其發生持續性隨機變動。為了分析各種批次間控制系統之隨機穩定性與擾動消除性能,本研究先假設控制器包含一或多個二階內模控制濾波器,然後利用給定轉移機率之隨機變數來代表量測時延,最後建立狀態空間系統模型,其中狀態變數被擴增來引入隨機量測時延和擾動的影響。此系統模型配合李亞普諾夫函數,可獲得判斷控制系統隨機穩定性的分析方法。另外,透過穩定系統模型的模擬,推導出暫態性能指標的閉合公式來評估確定性擾動的影響,亦可快速計算出長期性能指標來評估隨機性擾動的影響。作為整體控制性能評估標準的權衡性能指標,即由兩種指標加權組合而成。在轉移機率未知的情況下,本研究提出切換式批次間控制器的簡易最佳設計,可達成權衡性能指標的最小化,且控制效果遠遠優於傳統批次間控制器。
Date of Award2017 Aug 25
Original languageChinese
SupervisorShyh-Hong Hwang (Supervisor)

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針對具馬可夫性質量測時延之最佳切換式批次間控制設計
逸弘, 鄭. (Author). 2017 Aug 25

Student thesis: Master's Thesis