陣列式暫態電壓抑制器的模擬與實作

Abstract

可攜式設備已成為現今社會的消費主流，然而這些可攜式設備的IC元件大部分是輕薄短小且高精密度的設計，容易遭受到ESD（Electrostatic Discharge，ESD）的破壞，因此ESD防護也就愈顯得格外重要。在這當中暫態電壓抑制器（Transient Voltage Suppressor，TVS）為ESD靜電防護元件的主流，因此本論文的研究主題即為陣列式（Array）暫態電壓抑制器，利用箝制電壓（Clamping Voltage）達到良好的靜電防護的效果。本論文首先以Silvaco TCAD軟體模擬陣列式暫態電壓抑制器的元件結構，並分析改變摻雜濃度對元件電性的影響。之後使用Tanner L-Edit軟體做光罩（Photo Mask）設計並在晶圓廠投片做工程試產，完成之晶片經由探針測試（Chip Probe）量測電性資料，再經由封裝廠完成封裝製程後對產品量測電性資料，比較實際產品與軟體模擬的電性差異。最後採用IEC-61000-4-2測試規範實際量測此元件在空氣放電（Air Discharge）與接觸放電（Contact Discharge）下的靜電防護效能，確認此元件之靜電防護能力能否達到level 4等級規範。

Date of Award	2014 Feb 7
Original language	Chinese
Supervisor	Wen-Shi Lee (Supervisor)