陽極氧化鋁模板於電化學沉積鈷奈米線及其性質研究

  • 吳 信翰

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

磁性奈米線陣列擁有高密度、高比表面積、高深寬比等特性,對於磁性儲存元件應用有良好潛力,而為?以低?的成本並快速製作鈷奈米線陣列,本研究使用陽極氧化鋁(anodic aluminum oxide,AAO)模板法配合電鍍製程技術,並以市售大孔徑(200 nm)與本實驗室自製小孔徑(40~50 nm)模板沉積鈷奈米線,探討不同電化學沉積參數對於鈷奈米線沉積情況、結晶方向。 於市售大孔徑(200 nm)AAO模板方面,探討以直流方式沉積,改變不同電壓、電解液濃度與電解液溫度,討論其沉積情況、結晶方向,以及使用高壓(2 V)脈衝方式沉積鈷奈米線,於退火處理前後與傳統低壓直流進行比較。而自製小孔徑模板方面,由於AAO模板底部為不導電之阻擋層,以漸降陽極電壓方式削減其模板阻擋層,並且探討其草酸電解液溫度與擴孔蝕刻於自製AAO模板對於鈷奈米線沉積的影響,並探討兩種不同模板沉積鈷奈米線其結晶性,而最後將自製AAO模板移除,探討獨立鈷奈米線陣列其可見光反射性質。 本實驗使用市售大孔徑(200 nm)模板,在高壓(2 V)脈衝方式沉積鈷奈米線克服孔洞堵塞,以及退火後呈現單一[101]結晶方向之高強度,而在5oC下草酸以漸降陽極電壓方式製備AAO模板以及搭配磷酸擴孔10 min,沉積出長度均勻且在[002]結晶方向高結晶強度的鈷奈米線,並且移除自製AAO模板後,呈現直立無團聚之鈷奈米線陣列,控制其鈷奈米線長度可呈現出不同可見光學波長增強。
Date of Award2015 Aug 19
Original languageChinese
SupervisorChen-Kuei Chung (Supervisor)

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陽極氧化鋁模板於電化學沉積鈷奈米線及其性質研究
信翰, 吳. (Author). 2015 Aug 19

Student thesis: Master's Thesis