12吋晶圓廠自動化搬運系統生產績效研究及成本分析-以機台晶圓暫存器(Near Tool Material Buffer)為例

Translated title of the thesis: 300mm FAB AMHS system to improve for production performance & cost analysis - A Case Study on Near Tool Material Buffer
  • 吳 銘山

Student thesis: Master's Thesis

Abstract

在12吋晶圓製造廠內，生產績效的衡量項目除了常見有生產良率(yield rate)、生產週期(cycle time)、半成品存貨(WIP)及機台產能利用率(utilization)等指標之外，另一個最直接影響機台產能的指標則為“機台閒置時間(idle time)”的比重，簡單而言就是機台在該時間是無材料可生產，空機等待著材料被指派且經由自動化搬運系統(AMHS)搬送來執行生產的時間。 以財務及生產成本的控管概念之下，價格昂貴的機台其閒置時間(idle time)越長表示機台處於空機不生產狀況越嚴重，此情況是不利生產績效及公司利潤極大化之目標，同時機台也需面臨折舊攤提的成本問題。 本研究論文將以改善機台閒置時間(idle time)為主題，提供三個改善方案，其中以“機台晶圓暫存器(Near Tool Material Buffer)”為主要改善方案。本論文除了詳細說明相關的背景、改善方式、效益比較之外，也以財務成本面的分析和比較，來說明機台晶圓暫存器(Near Tool Material Buffer)為何是最合適的方案，同時也可作為12吋晶圓廠機台效能及營運績效提升的應用之參考。
Date of Award2017 Feb 7
Original languageChinese
SupervisorHsuan-Chu Lin (Supervisor)

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