設備詳細資料
Description
化學氣相沉積設備，具有1吋、2吋、3吋石英爐管，並提供Ar, H2, CH4 and O2等反應氣體。可長時間使用於溫度1100℃以下的製程。主要應用於石墨烯及其他薄膜材料鍍膜，也可以當作高溫退火爐使用。
詳細資料
| 名字 | 3吋化學氣相沉積石墨烯設備 |
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| 擷取日期 | 15-05-14 |
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指紋
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