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1&2吋化學氣相沉積石墨烯設備

微奈米科技研究中心

設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

3吋化學氣相沉積石墨烯設備

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CO2雷射雕刻系統

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In-Situ 奈米壓痕試驗機

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X光繞射儀

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二氧化碳超臨界乾燥機

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化學濕式操作台

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反應式離子蝕刻機

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半導體元件量測平台

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打線機

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光學顯微鏡

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共濺鍍機

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多功能掃描式探針顯微鏡

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多光子激發掃描顯微鏡

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奈米深蝕刻系統

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奈米粒子追蹤分析儀

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奈米壓印-熱壓成型奈米轉印機

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奈米壓痕試驗機 I (含三維量測)

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奈米壓痕試驗機 II

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奈微拉伸試驗機

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拉曼光譜儀/顯微鏡

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表面粗度儀

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金屬蝕刻系統

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研磨拋光機

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穿透式電子顯微鏡

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