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原子力顯微鏡

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設施/設備: Center for Micro/Nano Science and Technology

半導體元件量測平台

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聚對二甲基苯沉積系統

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In-Situ 奈米壓痕試驗機

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奈米粒子追蹤分析儀

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旋轉塗佈儀

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奈微拉伸試驗機

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精密離子拋光機

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桌上型掃描式電子顯微鏡

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反應式離子蝕刻機

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高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 I

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高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡

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微拉曼及微光激發光譜儀(含低溫)

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化學濕式操作台

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表面粗度儀

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拉曼光譜儀/顯微鏡

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奈米深蝕刻系統

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動態光散射儀(DLS)

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鍍金機

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研磨拋光機

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雙面對準/UV光感奈米壓印機

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CO2雷射雕刻系統

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金屬蝕刻系統

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二氧化碳超臨界乾燥機

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奈米壓痕試驗機 I (含三維量測)

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